Was bieten wir?

Mit unseren spektroskopischen Ellipsometern steht ihnen die ganze Welt der Ellipsometrie offen. Je nach Einsatzbereich bieten sich verschiedene Lichtquellen, die wir von namhaften Herstellern beziehen, als optimale Lösung an.
Durch intelligente Lichtführung können wir all die Vorteile, die ein spektroskopisches Ellipsometer auszeichnen, auf kleiner Plattform anbieten. Für komfortable Bedienung sorgt das automatisiertes X-Y-Mapping und die ebenfalls automatisierte Winkeleinstellung von < 0,5° über den vollen Bereich zwischen 0° und 90°.
Ein integriertes, digitales Mikroskop mit 2,1MP Auflösung und ein Hilfslaser vereinfachen die Positionierung der Probe, wobei die Probenaufnahme nach Kundenwunsch angepasst werden kann. Die manuelle Tilt-Stage kann in X- und Y-Richtung um bis zu ±1,8° verkippt werden.
Das Ellipsometer wird über eine standardisierte GigE-Schnittstelle angebunden und kann, plattformunabhängig, von jedem Computer aus bedient werden. Die Anwendersoftware ist intuitiv und ermöglicht neben der Erstellung individueller Messsequenzen auch die manuelle Ansteuerung aller Komponenten des Ellipsometers. Nach einmaliger Positionierung der Probe sind alle weiteren Funktionen über das Netzwerk verwendbar.